※ 引述《s72005ming (QQ)》之銘言：
: 最近傳出中國可以自產DUV
: 以中國收買人心的能力
: 難道沒辦法找到ASML的人幫忙做EUV嗎？
: 反正只要不要賣到海外自己用
: 應該就沒有專利的問題吧！
: 就算有中國法院應該也會判外國原廠敗訴
目前做不出來
應該說目前沒有單一國家做得出 EUV ，
光源是美國發明的，鏡片是德國 Zeiss , 高功率雷射來自德國
日本也貢獻許多部份，組裝系統是荷蘭的 ASML
而且是驗證完畢的系統
但是但凡以上缺席二個國家，大概就做不出來了.
不過現在做不出來不表示以後做不出來，目前還是要一步一步向前推進
DUV 乾式
DUV 溼式
EUV
High-NA EUV
自製 DUV 溼式如果能成功，那靠目前想走的路，
慢慢從 14nm -> 10nm -> 7nm -> 5nm -> 4nm 這樣
如果真弄出來，應該可以慢慢打下 DRAM 價格
EUV 至少還有 3 年吧，當年 ASML 花了十年以上，
就算目標明確，能壓縮研發時程
但是弄出來的難度頗高，我是不懷疑能弄出來，只是時間和成本問題
問題是你們搞到中國可以全國產這樣好嗎？