※ 引述《l26921216 (很悠閒的生活～～)》之銘言：
: 陸企DUV微影設備投產
: https://udn.com/news/story/7333/9654508
: 2026-07-28 01:10 經濟日報／ 編譯陳律安／綜合外電
: 科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由中國大陸政府支持的企業，
已
: 啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠艾司摩
爾
: （ASML）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露，這家總部位於上海的企業
，
: 已從其他陸企延攬深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科
技
: 。
其實浸沒式DUV的驗證機通過大陸幾大晶圓
廠驗證的消息去年就傳出來了，今年或明年
肯定能逐步開始量產。
但是大陸的duv研發企業有三家，是哪一家
或兩家，還是三家的duv通過驗證，目前還
不清楚。
而且ASML的DUV也有很多種，從1900系
列到2000細節，有七八種高中低端產品，
大陸初始的duv可能也就1900系列的能力，
還需要花幾年時間，根據晶圓廠的使用反饋
不斷改進，才能生產出更好的duv，預估
怎麼也要三五年時間。
現在美國關注的是EUV，路透社去年就從大
陸這邊搞到消息，說首台EUV的工程樣機
已經組裝好了。所以這幾個月美國政府在
拼命的懷疑是荷蘭ASML違反美國政府禁令
出賣了技術資料，本月上升到美國的部長級
高官質疑荷蘭，當然荷蘭政府和ASML堅決
否認。
當然，工程樣機，到技術完善的成品機
還有很多工作要做，還有企業內部的開發和
測試，以及進晶圓廠進行技術驗證等很多
工作，當年ASMl這一過程花了5年多時間，
經過了數個版本迭代，才生產出具備實用
能力的量產機。